在电力工业中，SF6气体抽真空装置是一种重要的介质，它用作封闭式中、高压开关的灭弧和绝缘气体。SF6气体的卓越性能实现了装置经济化、低维护化的操作。与普通装置相比，可以节省最多90％的空间。 六氟化硫（SF6）常态下是一种无色、无味、无嗅、无毒的非燃烧性气体，分子量146.06，密度6.139g/l，约为空气的5倍。是已知化学安定性最好的物质之一，其惰性与氮气相似。它具有极好的热稳定性，纯态下即使在500℃以上也不分解。 六氟化硫具有卓越的电绝缘性和灭弧特性，相同条件下，其绝缘能力为空气、氮气的2.5倍以上，灭弧能力为空气的100倍。 六氟化硫的熔点为－50.8℃，可作为－45－0℃温度范围内的特殊制冷剂，又因其耐热性好，是一种稳定的高温热载体。 六氟化硫因上述及其它优良特性，近年来被广泛用于电力、电子、电气行业和激光、医疗、气象、制冷、消防、化工、军事、宇航、有色冶金、物理研究等。 瓶装六氟化硫是高压液化气体，应严格按国家劳动总局颁布的《气瓶安全监察规程》进行保管和运输、使用。 使用时钢瓶阀门应完全开启，用减压阀控制压力和流量，使呈气态充入使用设备中，用后应关紧阀门、带防护帽。气瓶内物料不能用尽，常温下气瓶内残余压力应不低于0.2MPa。、 带六氟化硫的气瓶不允许在高于45℃的环境下使用、贮存和运输。 液态和气态SF6可迅速导致窒息，因此贮存及使用场所应通风良好，且须防止气瓶泄漏。一旦吸入，应迅速转移到新鲜空气中。 液态六氟化硫具有急剧冷冻作用，切勿使其接触人的眼睛、皮肤或衣服，以免冻伤。 六氟化硫产品质量指标 目前，还没有其他的技术。从技术、经济和生态角度来看，作为绝缘和灭弧介质，还没有比SF6气体更好的替代物。　　 　　

不过，对用户来说，了解下列过程是非常重要的：　　　　

应当避免SF6泄漏气体情况的检验和再生办法　回收、净化及存储使用过的SF6气体净化，使SF6可再利用1．1SF6气体的再利用　　如今，SF6（六氟化硫）主要应用在电气设备中，它用作开关中的气态绝缘介质已有二十五年的历史了。如果要对这些设备进行检修，则应使SF6气体重新进入到经济循环中，而不应排放到大气。如果满足了质量指标，那么在设备中使用过的SF6气体还可以被再次使用。从生态角度讲，这种方法可以使SF6向大气中的泄漏降至最低，直到仅为开关本身的及微量的泄漏。对SF6气体这样一个系统的再利用需要长久的质量控制，还要依据IEC376（适用于新气体）和IEC480（适用于使用过的气体）来严格地遵循质量标准。DILO的设备可以实现绝对安全的净化和SF6气体的再生。1．2　气体质量的检验　　对开关中SF6气体质量的长久控制从根本上来说是很有利的。这样，您就能收到有关SF6气体情况以及开关工作可靠性的信息。因此就可以及时判断气体污染情况并在其造成开关的故障和严重损坏之前排除隐患。

在每次回收气体之前都应当测量下面的参数：　　　　

分解产物 SF6浓度露点温度检测仪器可以满足下列要求：测量时间短－便携且易于操作可根据测量结果来决定净化和再生的方法。1．3　回收、净化和存储使用过的SF6气体　　要回收和存储SF6气体，DILO可提供用于维护中压开关、户外断路器和气体绝缘开关的各种类型的气体处理装置。可以根据气量、循环时间和相应的应用情况来选择合适的回收车。所用的DILO装置－可以对SF6进行净化的装置－都带有下列部件：　　压缩机： 使用的所有压缩机都是绝对无油的，它们有的最终压力为24bar（适用于气态储存），有的最终压力可达到50bar（适用于液态储存）。　

真空压缩机：　　

回收泵：压缩机和真空压缩机配合起来可以对SF6气体进行无油回收，直到气室的压力为最低50mbar。不过，也可用无油回收泵对SF6气体进行回收，可达到1mbar的最终压力。　　

SF6气体抽真空装置真空泵：充气之前，必须将气室抽真空以避免同空气相混合。为此，我们使用油润滑的真空泵，它们只能排向大气。它们仅用于抽取空气。在气室重新充入SF6气体之前，用标准型的真空泵可以将其抽真空到1mbar。我们也提供具有更高最终真空度的真空泵。过滤器单元－预置过滤器：从断路器中回收SF6气体时，气体会自动地流经干式过滤器和粉尘过滤器。分解产物、水分和固定粉尘都被有效地阻留下来。对于受污染程度比较严重、质量不明确的气体，就绝对需要在气体处理装置的进气前端安装一个附加的预置过滤器从而保护其免受分解产物的危害。更换滤芯的维护间隔／检修间隔取决于不同的因素，不能被标准化。因此我们建议测量气体的质量。

1．4SF6气体的净化以实现再利用正如我们已经提到的，每台气体处理装置上都装有干式过滤器和粉尘过滤器。干式过滤器可以安全地吸附气态分解产物和水分。滤芯中装有AL2O3和一个分子筛，易于更换。不用拆开现有的管路。粉尘过滤器用于过滤SF6气体中的固体粉尘和分解产物。烛式过滤棒包